止回阀；类型 超高纯度，焊接；公称尺寸 1/4 英寸 x 1/4 英寸；端接 阳面密封 x 阳面密封；端到端距离 1.8 英寸；阀体材料 316L 不锈钢；弹簧材料 Elgiloy/等效材料；密封材料 氟碳弹性体；温度等级 -10 至 150 华氏度；压力等级 3000 PSI（入口和后部）；内含物/特性 316L 不锈钢提升阀/截止阀限制器，蓝色标签；应用 阀歧管箱/面板、气柜、气棒、工具连接件；流量容量 0.9 Cv；六角尺寸 7/8 英寸；泄漏率 气泡密封（内部），小于 1x10-9 SCC/秒（外部）；内部体积 0.14 立方英寸；表面光洁度 7 Ra 电解抛光，
特征
采用专利非对称弹簧设计，运行无噪音；焊接设计减少占地面积；两种密封产品满足所有 SEMI 气体兼容性要求；100 级洁净室组装和包装；VeriClean 316L 不锈钢增强了电抛光和耐腐蚀性能
系列/型号信息
Parker Veriflo 部门的 F9 系列 UHP 止回阀具有改进的性能和兼容性，采用获得专利的非对称弹簧设计，可实现始终安静的运行，并且与竞争产品相比，流量限制更低。F9 的两种密封材料满足所有半气体兼容性要求，可减少客户库存并满足更广泛的应用。F9 在 100 级洁净室中组装和包装，专为超高纯度半导体应用而设计。