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美国Entegris英特格不锈钢气体过滤器WG3NSMSL2

  • 美国Entegris英特格不锈钢气体过滤器WG3NSMSL2

    产品规格

    材料 滤芯 获得专利的烧结镍膜过滤器
      住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢外壳
    下游清洁度 粒子* 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺)大于 0.01 微米
      易挥发的** H2O、O2和THC的挥发性释气量低于可检测限（室温下通过 RGA 和 FID 测定）
    移除评级 ≥0.0015微米
    内部表面处理 ≤5μin Ra
    氦气泄漏等级 合格的 2x10 -10  atm 立方厘米/秒。
      已测试 1x10 -9  atm 立方厘米/秒。
    运行条件 最大允许工作压力（设计压力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
      最大正向/反向压差：35 bar (500 psid)
      最高工作温度：惰性气体 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蚀性和活性气体：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
    保修单 5 年
    颗粒保留 去除所有颗粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的颗粒大小为参考）
    流量等级 参考性能数据
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