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韩国LINE-TECH质量流量计M3030A
  • 韩国LINE-TECH质量流量计M3030A

    LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程,终于诞生出今天的M系列,MFC/MFM产品。

    LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

    LINE TECH质量流量控制器主要参数:

    流量范围: 0.005-125(slpm)

    响应时间: ≤2

    精 度: ≤1%

    重 复 性: ±0.25

    输出信号: 0-5vdc或4-20mA

    供电电压: 15-28vdc

    温度范围: 0-50℃

    LOGO

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    无锡市锡山区安镇街道山河路50号浙大网新科创园41栋2102室无锡市锡山区安镇街道山河路50号浙大网新科创园41栋2102室

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