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Entegris过滤器

ENTEGRIS英特格过滤器WG3NS8RR2

  • ENTEGRIS英特格过滤器WG3NS8RR2

  • WG3NS8RR2
    材料 滤波元件 烧结镍膜过滤器
      房屋 电解抛光VAR316L不锈钢外壳
    下游清洁度 微粒 %3C0.03颗粒/升(%3C1颗粒/英尺3)%3E0.01微米
      挥发物 H的挥发性放气2哦，哦2，并且THC低于可检测限值(通过室温下的RGA和FID)
    移除等级 ≥0.0015微米
    表面和内部 Ra中≤5μ
    氦泄漏等级 有资格的 2 × 10-10ATM-cc/秒。
      测验 1 × 10-9ATM-cc/秒。
    最大工作条件: 最大入口压力 20摄氏度(68华氏度)时为20兆帕(200巴，2900 psid)
      设计压力 20摄氏度(68华氏度)时为20兆帕(200巴，2900 psid)
      最大前进/后退压差 1兆帕(10巴，150磅/平方英寸)
      最高工作温度 惰性气体 35巴(500磅/平方英寸)压力下400摄氏度(725华氏度)
        腐蚀性和活性气体 70巴(1000磅/平方英寸)压力下50摄氏度(122华氏度)
    保证 5年
    颗粒滞留 在15 slpm时，所有颗粒的去除率大于99.9999999% (9 LRV)
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